經濟部能源署業界能專計畫

能源署於112年5月9日召開「經濟部能源署業界能專計畫」第44次指導會議，審議通過創能領域1案、節能領域1案及儲能領域1案，合計3案。

本次核定名單及計畫簡述詳如下表：

• 創能領域計1案

本計畫已依亮宇國際股份有限公司112年11月30日宇申執字第1120000018號函辦理計畫終止。

• 節能領域計1案

本計畫針對半導體前段製程常用到的遠端電漿源設備進行設計開發，以提供穩定及更高性能的節電效益，透過可精密監控進而調整的電漿功率監控技術為設計基礎，以達到有效提升晶圓廠製程的遠端電漿源的節能效益，亦可降低溫室氣體使用量達到減碳的效果。

• 儲能領域計1案

本計畫已依霖城科技股份有限公司112年7月11日來函辦理計畫放棄簽約執行。